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mlase醫(yī)學(xué)和工業(yè)用緊湊型準(zhǔn)分子激光器
MLase準(zhǔn)分子激光器覆蓋波長(193納米、248納米、308納米),能量范圍每脈沖200毫焦耳或脈沖重復(fù)率達(dá)1000赫茲
MLase的激光器服務(wù)于的工業(yè)過程。通過模塊化設(shè)計(jì)方法,
波長:193納米、248納米(可根據(jù)要求提供其他波長:157納米、308納米、351納米)
水冷選項(xiàng)
重復(fù)率可達(dá)1 kHz
MLase這些準(zhǔn)分子激光器的工業(yè)應(yīng)用包括:
光纖布拉格光柵的寫入(FBG)
光學(xué)檢測和計(jì)量,如測試微光學(xué)器件
激光結(jié)構(gòu)化和劃線
陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工
激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD,ICP-MS)
在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導(dǎo)體制造中